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山巍[01](13.5nm工艺制程。...)(第3/4页)

nj带来的研发团队。
原本光源系统研发进程没这么快,但有了程院长anj的研发团队便如虎添翼,进程迅速缩短一半。
现在正是光源系统的验收时刻,不是在电脑软件上运行anj的仿真建模,而anj是真实设备的光源系统实验验收阶段
雷客紧张的吞咽口水,眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆
真没出anj息
他这么想anj着,浑然不知道自己anj的表现也好不到哪去。
在场估计没人不紧张,哦,盛明安除外,任何anj重大科学工程验收阶段,他都表现得非常淡定,好像一个局外人,让人即羡慕又嫉妒。
程院长anj看anj了眼右边的电子表,此刻时间是19点42分31秒。
他轻声说“开始吧。”
顿了顿,程院长anj说“盛工,你来吧。”
“唔”盛明安有点诧异,老实说程院长anj无论资历还是辈分都比他高几轮,被长anj辈喊盛工、谦让,他不太好意思“您喊我名字就anj行anj。光源系统的研发也有您的一份力,还是您来。”
程院长anj摆摆手笑着拒绝“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段,不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成,我只是个半路杀出anj的辅助,行anj了别推辞,再推让下anj去该下anj班了。”
行anj吧。盛明安点点头,示意身后研发团队各就anj各位,紧盯前方全套的光源系统设备,沉着冷静的说“开始验收。准备――”
“已启动数据记录,光源验收记录,功率消耗记录。”
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏,每一句报告简短有力,错落有序,整洁飞快,无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。
“启动二氧化碳脉冲激光器”
话音一落,盛明安按下anj开关按钮,众人抬头看anj向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备,一尘不染的银白色设备在冷光下anj散发出anj奇妙无机质的机械美。
机械表而anj很anj平静,盛明安等人看anj不到内部正在发生的变化,他们只能通过最anj终结果判断是否成功,而anj过程很anj短暂、很anj快速,快到频率一秒五万次
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它anj切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看anj实验。
视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张,由anj圆点扩张成椭圆形,光越来越盛、越来越亮,猛然爆发出anj闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长anj发亮的紫光倏然蹿出anj发光口,通过圆形长anj管,进入光束矫正器,通过能量转换器
最anj终击中直径30μ的靶材料锡液滴。
视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出anj现数以万计的紫色细长anj光线穿过一个又一个圆形长anj管最anj后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子,释放等离子体,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由anj为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。
接下anj来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由anj曝光系统获取最anj终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后而anj的两步,只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出anj错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最anj大化等等
所以一次的实验结果不能证明什anj么,他们连续实验多次,记录数据作比对,计算出anj一个最anj优概率。
键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴“giao

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